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用于表面缺陷检测的AOI系统不能在检测过程中，给被测件表面带来缺陷（如粉尘、划伤、静电等）。因此，对于大型零件（如高世代的液晶玻璃基板、硅片等）的在线检测，常常需要采取气浮支撑、定位与传输机构，运动部件（如轴承等）采用自润滑器件，以及利用FFU风机过滤机组对检测系统进行环境净化，并采取消静电装置，对工件进行防静电处理。

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AOI系统组成是由相机、镜头、光源、计算机等通用器件集成的简单光学成像与处理系统。光源照明下利用相机直接成像，然后由计算机处理实现检测。这种简单系统的优点是成本低、集成容易、技术门槛相对不高，在制造过程中能够代替人工检测，满足多数场合的要求。

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在反射模式将白色的纸放置在光具(底片)之下，介于光具透明和不透明范围之间，以提高其对比度。经过交替的变换达到或接近所使用的标准的AOI系统。这种方法不是通用的的，更多的倾向是由于微小的划伤，才会出现假的缺陷报告。另外:容易产生错误的是由于光具表面银粒子无光泽,再通过AOI的反射模式，特别是焦点不是在光具银乳胶膜上，就很容易出现假的读出。而表面无光泽的粒子致使真空度下降。这些粒子是甲1基丙1烯酸树脂，直径大约7微米，它能够使光发出散光。