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自动光学检测用于非传统微孔加工表面质量检查：

这些加工程序的制作工艺是不连续的，而且是“并行的加工过程，即在并行模式形成单层，zui后工序就是通过压制合在一起。这样加工的做出势，就是加工的用的时间短，减少加工步骤，但要知道层的质量好坏，必须在层压前进行检查。

经过加工的金属经过微蚀所看到的是不同的，有原有的铜或电镀铜.在Z轴互连结构应该是铜或银膏(在ALIVH或B'it 等积层工艺用的方法即导电膏) ，aoi自动光学检测，或铜表面经过腐蚀液的冲击和金属层经过处理的双面( ALIVH)目的以改善粘结强度，但用反射模式的AOI机检查更为困难。

自动光学检测(automated optical inspection， AOI)技术，也称为机器视觉检测(machine vision inspection，aoi自动光学检测仪， MVI)技术或自动视觉检测(automated visual inspection，aoi自动光学检测价格， AVI)技术。在有些行业，如平板显示、半导体、太阳能等制造行业，AOI这一术语更加流行，aoi自动光学检测仪价格，被人知晓。但是AOI和MVI/AVI在概念和功能上还是有细微差别的。

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六.自动光学检测用于检查微孔质量

孔金属化前激光钻孔后，或金属化孔后微孔是可以检查的。孔金属化后经过AOI检查，所获取的信息证实孔内镀层覆盖的完整性，而不是金属与焊盘的结合状态。如果首道工序要求进行蚀刻，激光钻孔前进行铜导体进行敷形掩膜，于是在钻孔前需要对敷形掩膜附加检查步骤。检查钻孔后的环氧钻污，就是根据图形暗(非反射)环形的工艺特性采用反射的模式进行检查。反射的中心目标是带有铜的焊盘，即微孔的底部。而墨暗的凹处是介质材料本身的边壁而不是金属化镀层，俯视到是外层发光的范围内表面是铜。